石墨具備良好的導熱性能,以石墨作為散熱鰭片,並以溝槽化設計增加對流及散熱面積,可以大大提升機構整體散熱效率。
石墨具有耐高溫、耐腐蝕等特點,以石墨真空吸盤取代傳統夾具,應用於半導體或太陽能產業中,可以降低製程中的粉塵污染,提高產品良率。
採用高品質的等靜壓高純石墨生產而成,性能優異。
普遍運用在旋片式真空泵轉子槽內,真空泵轉子以及碳片均被密封在真空泵缸體內部,
採用真空泵油作為潤滑介質起著增加真空泵碳片與汽缸體接觸面積的作用下從而達到理想狀態下的真空。
石墨連接板適合在真空中高溫應用。
由於其物理、化學和熱性能,應用溫度可耐高溫2300度,
石墨加熱結構均勻的優點,性能良好的導電性、高電流容量、高腐蝕和抗氧化、高程度的化學純度和較高的機械強度。
多用於石墨真空爐配件,具有耐侵蝕性、耐衝擊性、耐酸性、高熱傳導性,以及取代金屬物染的缺點。
均勻細緻的設計,延緩石墨坩堝的使用壽命,並降低金屬汙染,以及維持品質穩定性。
熱膨脹係數小、對酸,鹼性溶液的抗腐蝕性較強,具有優良的化學穩定性。
廣泛應用於冶金、熱處理、鑄造、機械、化學等行業。
主要用於加熱晶圓探針設備,通常表面有擁有特殊鍍層增加導電特性;此產品具有高溫性能、快速加熱、精度控制、高可靠性以及易於安裝的特點,能夠滿足半導體測試過程中的加熱需求,從而提高測試品質和測試精度。
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